位移傳感器又稱為線性傳感器，它分為電感式位移傳感器，電容式位移傳感器，光電式位移傳感器，超聲波式位移傳感器，霍爾式位移傳感器.數(shù)字式位移尺規(guī)由數(shù)字式位移傳感器與計(jì)數(shù)表示器配套組成。

   數(shù)字式位移傳感器，其測量桿部與移動光柵固定相連，移動光柵與測量桿部同時(shí)移動，與移動光柵相隔一定位置設(shè)有固定光柵。各光柵按一定間隔印刷有明暗刻度。為了便于根據(jù)測量桿移動的方向（+，-方向）進(jìn)行計(jì)數(shù)，A與B兩個固定光柵，其中B光柵比較A光柵偏移1/4P（波長）。光源透過固定與移動2個光柵投射到感光元件。

  如果移動光柵相對應(yīng)固定光柵產(chǎn)生移動，通過固定光柵的光將會產(chǎn)生明暗的交替變化。此時(shí)可以得到2個同周期相位相差90゜的方波信號，根據(jù)信號間相位的超前或滯后，即可判斷出測量桿移動的方向，進(jìn)行計(jì)數(shù)的加，減計(jì)算得到測量的位移量。（圖2）

  數(shù)字式位移傳感器的輸出信號的1P（波長）有為4 μm（分辨率為1 μm型號）或40 μm（分辨率為10 μm型號）類型。計(jì)數(shù)器按4增倍處理，可將1P（波長）分為4份計(jì)算，即可得到1/4P的測量分辨率（1 μm或10 μm）。（不包括HS系列）

＊GS-7000系列的1P（波長）為2 μm